1、對于形貌成像:主要信號是二次電子,背散射電子也有使用。吸收電流成像,是比較特殊的應(yīng)用,往往用于專門材料檢測。
2、對于成分分布成像:背散射電子,陰極熒光,元素特征X射線等。
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