1、按照顯影效果不同， 光刻膠分為正性光刻膠和負性光刻膠。
正性光刻膠的曝光部分溶于顯影劑，顯影時形成的圖形與掩膜版上的圖形相同。負性光刻膠的曝光部分則不溶于顯影劑，顯影時形成的圖形與掩膜版相反。兩者的生產(chǎn)工藝流程基本一致，區(qū)別在于主要原材料不同。
2、按照化學結(jié)構(gòu)不同，光刻膠可分為光聚合型、光分解型、光交聯(lián)型和化學放大型。
光聚合型光刻膠采用烯類單體，在光作用下生成自由基，引發(fā)單體聚合反應(yīng)生成聚合物，常用于負性光刻膠。
光分解型光刻膠，采用含有重氮醌類化合物（DQN）材料作為感光劑，其經(jīng)過光照后，發(fā)生光分解反應(yīng)，可以制成正性光刻膠。
光交聯(lián)型光刻膠采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料，在光作用下，形成不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，起到抗蝕作用，可制成負性光刻膠。
化學放大型光刻膠采用難以溶解的聚乙烯樹脂，使用光致酸劑（PAG）作為光引發(fā)劑，當光刻膠曝光后，曝光區(qū)域PAG產(chǎn)生酸，可作為后續(xù)熱烘焙工序的催化器，使得樹脂變得易于溶解?；瘜W放大光刻膠曝光速遞是DQN光刻膠的10倍，對深紫外光源具有良好的光學敏感性，同時具有高對比度，對高分辨率等優(yōu)點。
3、按照下游應(yīng)用領(lǐng)域不同，光刻膠可分為PCB光刻膠、LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠。
PCB光刻膠主要包括干膜光刻膠、濕膜光刻膠、光成像阻焊油墨。
LCD領(lǐng)域光刻膠主要包括彩色光刻膠和黑色光刻膠、觸摸屏光刻膠、TFT-LCD光刻膠。
半導(dǎo)體光刻膠根據(jù)對應(yīng)波長可以分為紫外光刻膠（300-450nm）、深紫外光刻膠（160-280nm）、極紫外光刻膠（EUV、13.5nm）、電子束光刻膠、離子束光刻膠、X射線光刻膠。光刻膠波長越短，加工分辨率越高。
